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超精密气浮定位工作台技术:气浮系统动力学与控制 陈学东,何学明,叶燚玺122

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更多电子书籍资料,请关注[小书虫]:www.wq1.net超精密气浮定位工作台技术——气浮系统动力学与控制陈学东何学明叶燚玺著华中科技大学出版社中国·武汉更多电子书籍资料,请关注[小书虫]:www.wq1.net更多电子书籍资料,请关注[小书虫]:www.wq1.net内容简介超精密定位工作台技术是集机械学、电子学、光学、计算机控制技术于一体的综合性技术,为IC制造技术、精密加工技术、精密测量技术等提供精密定位装置。本书系统阐述了超精密气浮定位工作台中的气浮支承技术、系统动力学、超精密定位运动及其控制等基本理论与方法。本书的主要内容包括:超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接驱动的基本理论

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